Journal Article

·2018 OPEN ACCESS

Metal-Gözenekli Silisyum Direk Hidrojen Pili Üretim Parametrelerinin Geliştirilmesi

Çiğdem Oruç YTU , Sevinç Güler , Hüseyin Murat Luş YTU

Gazi Üniversitesi Fen Bilimleri Dergisi Part C Tasarım ve Teknoloji

Abstract

Gözenekli silisyum (GS) üretim yöntemi olan, elektrokimyasal aşındırma (anadizasyon) koşullarının, Metal-Gözenekli Silisyum Direk Hidrojen Pili (Metal-GS-DHP) elektriksel parametrelerine etkisi oldukça yüksektir. Bu çalışmada 4 temel anodizasyon koşuluyla (zaman, akım yoğunluğu, hidroflorikasit:su oranı ve Işık), n tipi, (111) yönelimli, tek kristal silisyum kullanılarak GS üretilmiştir. Anodizasyon zamanı 5-100 dakika, akım yoğunluğu 5-75 mA/cm2, HF:deiyonize H2O oranı 1:1- 1:11 ve ışık şiddeti 1000-7000 lüx aralıklarında uygulanmıştır .En iyi anodizasyon zamanı 40 dakika ve buna karşılık gelen Metal-GS-DHP elektriksel pil parametreleri, Voc= 590 mV Isc=30 mA’dir. En iyi akım yoğunluğu 20 mA/cm2 ve buna karşılık gelen Metal-GS-DHP elektriksel pil parametreleri, Voc= 700 mV, Isc=15 mA’dir. En iyi HF:H2O oranı 1:3 ve buna karşılık gelen Metal-GS-DHP elektriksel pil parametreleri, Voc= 420 mV, Isc=10 mA’dir. En iyi ışık şiddeti 4000 lüx ve buna karşılık gelen Metal-GS-DHP elektriksel pil parametreleri, Voc= 540 mV Isc=18 mA’dir. Deney sonuçlarından anlaşılacağı üzere Metal-GS-DHP elektriksel pil parametreleri anodizasyon koşullarına direk bağlıdır.

Keywords

Chemistry Metal Nuclear chemistry Organic chemistry

Subject Areas

Silicon Nanostructures and Photoluminescence ·Materials Chemistry ·Physical Sciences
Anodic Oxide Films and Nanostructures ·Materials Chemistry ·Physical Sciences
Semiconductor materials and devices ·Electrical and Electronic Engineering ·Physical Sciences

Citations by Year